Dostawa urządzeń stanowiących część wyposażenia dla laboratorium litografii elektronowej

Opis przedmiotu przetargu: Wymagania techniczne Zadanie nr 1 Depozytor rotacyjny (spin coater) Wymagania: 1. Wyposażony w µ-kontroler oraz dotykowy panel operacyjny. 2. Parametry użytkowe urządzenia: a) zapisywanie procedur - nie mniej niż 40, b) liczba kroków w jednej procedurze - nie mniej niż 20, c) regulowana prędkość wirowania, przyspieszenia oraz czasu, d) maksymalna prędkość wirowania nie mniejsza niż 10000 rpm z dokładnością ± 1 rpm, e) alarm akustyczny sygnalizujący koniec procedury. f) Zagwarantowana łatwość czyszczenia depozytora np. poprzez wymienne wkłady z tworzywa. 3. Próżniowe mocowanie substratu (odpowiedni układ próżniowy zintegrowany z urządzeniem). 4. Urządzenie wyposażone w uchwyty pozwalający na montowanie podłoży o rozmiarach od 3x3 mm do 2 cali. 5. Gwarancja minimum 12 miesięcy Zadanie Nr 2 Płyta grzejna (hot plate) Wymagania: 1. Cyfrowy kontroler temperatury 2. Zakres temperatur od 25 do 250oC (dokładność +/- 1oC przy 100oC) 3. Próżniowe mocowanie podłoży (pompa zintegrowana z urządzeniem) 4. Rozmiar podłoży do 150 mm, grubość do 5 mm 5. Gwarancja minimum 12 miesięcy Zadanie Nr 3 Profilometr kontaktowy Wymagania: Przyrząd powinien umożliwiać rejestrowanie i analizę dwu- i trój-wymiarowych profili powierzchni z rozdzielczością w kierunku pionowym na poziomie nie większym niż 0.1 nm i powtarzalności w pomiarach uskoku na poziomie nie gorszym niż 0.6 nm. W tym celu powinien być wyposażony w odpowiedni komputer (z systemem Windows 7) z monitorem (23 cale, rozdzielczość 1920 x 1080) i oprogramowaniem pozwalającym na: -.składanie profili - wizualizację trójwymiarowych map w trakcie ich rejestrowania, - wyznaczanie naprężeń, - automatyczne zbieranie profili w różnych miejscach preparatu oraz ich wszechstronną analizę. Wszystkie elementy urządzenia powinny być dostosowane do zasilania z ogólnie dostępnej sieci elektrycznej. Obserwacja próbki przy pomocy kolorowej kamery CCD z regulowanym powiększeniem powinna pozwalać na uzyskanie pola widzenia w zakresie od maksimum 1 mm do minimum 4 mm. Siła nacisku powinna być regulowana w zakresie od maksymalnie 0.05 mg do minimalnie 15 mg, dla zakresu pomiarowego w osi Z wynoszącego 1 mm przy pomocy jednej głowicy pomiarowej. Wymiana końcówek pomiarowych powinna się odbywać za pomocą uchwytów pozwalających na szybką wymianę końcówek. Urządzenie powinno być wyposażone w: - Zmotoryzowany stolik (lub zestaw stolików) X/Y o zakresie przesuwu nie mniejszym niż 100 x 100 mm, pozwalający na pomiar próbek o grubości do 50 mm, średnicy od 4 do 6 cali, w tym również bardzo małych próbek np. o wymiarach 5 x 5 mm, wymagane jest zapewnienie możliwości próżniowego mocowania próbek (odpowiednia pompa dołączona do zestawu). - Optycznie gładka podstawa pomiarowa o zakresie skanowania nie mniejszym niż 50 mm. - Automatyczna kompensacja nachylenia preparatu. - Cztery różne typy końcówek pomiarowych (optymalnie o promieniach: 50 nm, 0.2 mm, 0.7 mm, 2 mm). - Próbki kalibracyjne o grubościach: 900 mm i 88 nm. - Standard płaskości SiC (flatness standard, D około 30mm, roughness <= 0,5 nm RMS, flatness < Lambda /50) - Stół antywibracyjny z kompresorem - Osłonę akustyczną - Zakres pomiarowy w osi Z do 1 mm