dostawa regulatorów przepływu masowego gazów, 2 szt.

Opis przedmiotu przetargu: Regulatory przepływu masowego gazów 2 szt. o następujących parametrach: I. 1) Regulatory przepływu masowego w technologii TMF 2) Kalibracja dla SiH4; 3) Zakres przepływu: od 0.5 sccm do 25 sccm 4) Materiał uszczelnienia przyłączy: KALREZ 5) Materiał uszczelnienia zaworu: KALREZ 6) Typ zaworu: normalnie zamknięty 7) Ciśnienie maksymalne: 100 Bar 8) Interfejs elektryczny 0-5 V i cyfrowy RS485 9) Konstrukcja ze stali nierdzewnej 316 SS. 10) Przyłącza: 1/4 VCR z filtrem, stal nierdzewna 316 SS 11) Czas odpowiedzi: < 1s 12) Powtarzalność: ±0.2% 13) Dokładność: 0.2% pełnej skali dla zakresu od 0% do 20% , 1% aktualnego przepływu dla zakresu od 20% do 100% 14) Możliwość zapisania w pamięci regulatora do 10 krzywych kalibracyjnych 15) Napięcie zasilania 15V II. 1) Regulatory przepływu masowego w technologii TMF 2) Kalibracja dla SiH4; 3) Zakres przepływu: od 1 sccm do 50 sccm 4) Materiał uszczelnienia przyłączy: KALREZ 5) Materiał uszczelnienia zaworu: KALREZ 6) Typ zaworu: normalnie zamknięty 7) Ciśnienie maksymalne: 100 Bar 8) Interfejs elektryczny 0-5 V i cyfrowy RS485 9) Konstrukcja ze stali nierdzewnej 316 SS. 10) Przyłącza: 1/4 VCR z filtrem, stal nierdzewna 316 SS 11) Czas odpowiedzi: < 1s 12) Powtarzalność: ±0.2% 13) Dokładność: 0.2% pełnej skali dla zakresu od 0% do 20%, 1% aktualnego przepływu dla zakresu od 20% do 100% 14) Możliwość zapisania w pamięci regulatora do 10 krzywych kalibracyjnych 15) Napięcie zasilania 15V