Wyposażenie eksperymentalnej komory do laserowego nanoszenia cienkich warstw

Opis przedmiotu przetargu: Zadanie Nr 1 Wyposażenie eksperymentalnej komory do laserowego nanoszenia cienkich warstw: zestaw trzech magnetronów 3: Trzy głowice magnetronowe 3 z katodami, zamontowane na flanszy CF22, każdy magnetron dodatkowo zainstalowany na osobnej flanszy CF8, każdy magnetron z głowicą flex, umożliwiającej zogniskowanie strumienia jonów z trzech głowic w odległości 10-40cm od target, każdy magnetron z osłonami przeciw wzajemnemu zanieczyszczaniu katod chimney oraz zasłonami typu shutter flip sterowanymi pneumatycznie, jeden magnetron z magnesem standardowym, dwa z magnesem do materiałów ferromagnetycznych (kpl. 1) Zadanie nr 2 Wyposażenie eksperymentalnej komory do laserowego nanoszenia cienkich warstw: zestaw katod i zasilaczy do trzech magnetronów 3 z wyposażeniem: jeden zasilacz RF 13,56MHz mocy minimum 600W, zasilanie 230V, jeden zasilacz DC mocy minimum 500W, zasilanie 230V, komplet kabli połączeniowych, katody magnetronów z platyny (grubość nie mniej niż 0,125), rutenu (0,125) oraz kobaltu (0,25), montaż katod bez użycia klejów, past termoprzewodzących itp., izolacja magnesów magnetronów od układu chłodzenia i próżni, zasilacze z wyjściem typu N żeńskim, z możliwością zdalnego sterowania poprzez port szeregowy DB-9 oraz DB-25, o stabilności mocy wyjściowej nie gorszej niż 0,5%, impedancja wyjściowa 50Ohm, automatyczne dopasowniki mocy, montaż Rack, szafa lub stojak do montażu zasilaczy typu Rack minimum 42U, mobilna (kpl. 1)