Dostawa, instalacja i uruchomienie urządzenia do mycia wysokociśnieniowego podłoży półprzewodnikowych i masek chromowych. - pl-warszawa: sprzęt laboratoryjny, optyczny i precyzyjny (z wyjątkiem szklanego)

Opis przedmiotu przetargu: przedmiotem niniejszego zamówienia jest dostawa, instalacja i uruchomienie urządzenia do mycia wysokociśnieniowego podłoży półprzewodnikowych i masek chromowych (semi automated high pressure single wafer and subtrate cleaning system) przeznaczonego do mycia co najmniej podłoży półprzewodnikowych o średnicy 2”, 3”, 100mm, 150mm, 210mm, i 300mm, fragmentów podłoży półprzewodnikowych o nieregularnych kształtach i rozmiarach od 15mm x 15mm, podłoży kwadratowych (w tym masek chromowych) o rozmiarach 4” x 4”, 5” x 5”, 6” x 6”, 7” x 7”, 8” x 8”. urządzenie pozwalać ma na programowanie i kontrolę procesów mycia obejmujących mycie co najmniej w roztworze piranha, mycie podłoży w procesach sc1 i sc2, mycie podłoży w rozcieńczonym roztworze hf (3 %), wysokociśnieniowe mycie podłoży wodą dejonizowaną, procesy mycia ultradźwiękowego (megasonic system), suszenie dyszą z nadmuchem azotowym. roztwory piranha, sc1 i sc2 mają być otrzymywane przez łączenie odczynników chemicznych w zadanych proporcjach w trakcie procesu mycia. zamówienie obejmuje również przeszkolenie pracowników zamawiającego w zakresie bezpieczeństwa, obsługi i utrzymania technicznego urządzenia oraz stosowania procesów mycia chemicznego, wysokociśnieniowego i ultradźwiękowego. ii.1.6)