Dostawa elektronolitografu (systemu do generacji wzorów wiązką elektronów) wraz z wyposażeniem dla Instytutu Technologii Materiałów Elektronicznych w Warszawie. - pl-warszawa: urządzenia elektroniczne, elektromechaniczne i elektrotechniczne

Opis przedmiotu przetargu: przedmiotem niniejszego zamówienia jest dostawa (rozumiana jako sprzedaż, dostarczenie do siedziby zamawiającego, montaż oraz uruchomienie) elektronolitografu to jest kompletnego systemu do generacj iwzorów wiązką elektronów (zwanego również systemem do elektronolitografii) wraz z wyposażeniem, przeznaczonego do 1. wytwarzania fotomasek chromowych; 2. bezpośredniej generacji wzorów na podłożach półprzewodnikowych z wykorzystaniem znacznikówcentrujących; 3. wytwarzania matryc (form) dla technik nanoimprintu; 4. wytwarzania wielopoziomowych fazowych struktur dyfrakcyjnych z wykorzystaniem znaczników centrujących. system do elektronolitografii obejmuje w szczególności 1) jednostkę podstawową do generacji wzorów wiązką elektronów wraz z komputerem sterującym,oprogramowaniem i dokumentacją; 2) stację załadowczą; 3) kompletny automatyczny system stabilizacji temperatury jednostki podstawowej i stacji załadowczej; 4) automatyczny system próżniowy; 5) komputerowe stanowisko do przygotowywania i przetwarzania danych graficznych z oprogramowaniem i dokumentacją, w tym oprogramowanie do konwersji danych oraz korekty efektów związanych ze zjawiskiem sąsiedztwa. przedmiot zamówienia obejmuje również przeszkolenie wskazanych pracowników zamawiającego w zakresie obsługi urządzenia. ii.1.6)