Dostawa urządzenia do sekwencyjnego, próżniowego nanoszenia nanowarstw metalu i dielektryka na podkłady wraz z zamontowaniem, uruchomieniem i przeszkoleniem obsługi

Opis przedmiotu przetargu: Przedmiotem zamówienia jest dostawa urządzenia do sekwencyjnego, próżniowego nanoszenia nanowarstw metalu i dielektryka na podkłady wraz z zamontowaniem, uruchomieniem i przeszkoleniem obsługi. Parametry techniczne przedmiotu zamówienia: Komora napylarki Stalowa komora: wysokość od 600 mm do 750 mm, szerokość=głębokość około 350 mm. Drzwi pełnej szerokości. Ściany komory chłodzone i grzane wodą. Odległość źródło-podkład około 550 mm. Okno o średnicy około 100 mm. Wszystkie wymagane przepusty. Dodatkowy przepust do dozowania gazu. Dodatkowych 6 przepustów dla sygnałów elektrycznych od 0,5 A do 5 A. Połączenia systemu pomp od tyłu. Pompy próżniowe Pompa wysokiej próżni typu turbo-molekularna albo pompa kriogeniczna o wydajności około 700 l/s. Próżnia bezolejowa o ciśnieniu nie wyższym niż 1,0×10-6 Torra uzyskana w czasie nie dłuższym niż 15 minut. Położenie mierników próżni maksymalnie daleko od wlotu do pompy. Układ naparowywania 1 działo elektronowe o mocy min. 5 kW z tyglem 6 pozycyjnym, pojemność 1 pozycji około 6 cm3. Dodatkowy zestaw wkładek do tygla: wolframowych (W) - 8 szt., grafitowych - 4 szt., tantalowych (Ta) - 4 szt, azotku boru - 4 szt. 2 kompletne zestawy stalowych blach osłonowych. Płaski uchwyt podkładów o średnicy około 100 mm przystosowany do 7 podkładów o średnicy do 30 mm. Opcja: obrotowy uchwyt podkładów. Chłodzenie uchwytu podkładów ciekłym azotem i grzanie do 350 C. Działo jonowe [jony argonu, jednorodna (+/-10%) wiązka równoległa o przekroju ok. 3cm] przy ciśnieniu 10-4 Torra. Napięcie od 0 do 1000V, prąd od 2 do 12mA. Wytwarzanie warstw o zadanej grubości i kontrola grubości napylonej warstwy wagą kwarcową. 100 zapasowych kryształów kwarcowych. Naparowywanie sekwencyjne nanowarstw metali (np: Au, Ag, Cu) w temperaturze ciekłego azotu i tlenków (np: SiO2, Al2O3, MgO, TiO2) w temperaturach do +350 stopni C. Automatyzacja procesu z możliwością pracy ręcznej. Zamknięty układ chłodzenia. Kompletna dokumentacja. Dostawa i instalacja przedmiotu zamówienia w budynku Wydziału Fizyki UW, 02-093 Warszawa, ul. Pasteura 7. Szkolenie obsługi do 5 osób na Uniwersytecie Warszawskim. Zamawiający przewiduje etapowanie zamówienia: Etap 1. Uzgodnienie z Zamawiającym oraz przekazanie projektu technicznego i kompletnej dokumentacji całego przedmiotu zamówienia. Za realizację etapu 1 Zamawiający zapłaci Wykonawcy 40% całkowitej wartości zamówienia. Termin wykonania etapu: 2 tygodnie od dnia podpisania umowy. Etap 2. Instalacja urządzenia w siedzibie Zamawiającego. Po dostarczeniu i instalacji urządzenia zostanie dokonany odbiór potwierdzający poprawną instalację urządzenia. Urządzenia zostaną sprawdzone i w ciągu kolejnych 30 dni od daty dostawy dokonany zostanie odbiór jakościowy potwierdzony podpisanym przez strony protokołem. Za realizację etapu 2 Zamawiający zapłaci 50% całkowitej wartości zamówienia. Termin wykonania etapu 2: 4 miesiące od dnia podpisania umowy. Etap 3. Przeprowadzenie szkolenia zespołu pracowników Uniwersytetu w siedzibie Wydziału Fizyki UW na zainstalowanym urządzeniu oraz podpisanie przez obie strony protokołu z przeprowadzonych czynności i szkolenia. Za realizację etapu 3 Zamawiający zapłaci 10% całkowitej wartości zamówienia. Termin wykonania etapu 3: 1 miesiąc od zakończenia etapu 2.